1、超聲波的強度。
即單位面積的超聲功率。
2、超聲波頻率。
空化作用還與超聲波頻率有關，空化的產生存在著一個小的臨界幅度即空化是隨著頻率的升高而減小的。
3、清洗溶液的選擇。
清洗劑的選擇要從兩個方面考慮一方面要從污物的性質來選擇化學作用好的清洗劑；另一方面要選擇表面張力、蒸氣壓及黏度適合的清洗劑。因為這些特性與超聲空化強弱有關。
4、清洗的溫度。
清洗溫度升高時，對空化的產生有作用，但是溫度過高氣泡中的蒸氣壓增加，空化強度會下降，所以溫度的選擇要考慮對空化強度的影響也要考慮清洗液的化學清洗作用。
5、駐波的影響。
清洗槽是有限空間，超聲波由聲源向液面傳播時，在液體和氣體的交界面會反射回來而形成駐波。駐波的特征是在液體空間的某些地方聲壓小，而在另外一些地方聲壓大，這樣會造成清洗不均勻的現象。要減少駐波的影響有時清洗槽特意做成不規則的形狀以免駐波的形成